適合的應用:

化學氣相沉積法制備高品質單晶鉆石

化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石自支撐厚膜

化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石薄膜

化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和鉆石膜等各種碳納米薄膜

產品特點： 

本產品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備，功率密度高；

水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長時間穩(wěn)定工作；

基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到；

真空測量儀表采用全量程真空計，可**測量本底真空和工作氣體壓強；

真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa)，系統(tǒng)可自動控制沉積氣壓；

配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，確保裝置高功率下可長時間**穩(wěn)定運行；

系統(tǒng)帶15寸觸摸屏，PLC自動控制，可設置溫度或氣壓恒定，可保存復用多達20套工藝文件；

全自動工藝控制模塊，可以穩(wěn)定可靠地制備高品質鉆石薄膜和晶體

技術指標與特性：

項目名稱	規(guī)格	配置
主控單元		PLC 自動程控
微波源	6kw  2.45Ghz	微波電源
		微波發(fā)生器
波導	6kw	三銷釘
模式轉換器	6kw
諧振腔體	6kw	柱形水冷腔體
基臺	φ70mm	電動升降
鉆石生長基本參數(shù)		7x7mm   37片 8x8mm   29片 9x9mm   21片 10x10mm  13片
MFC（質子流量計）	5路	Ch4  0-500sccm H2   0-500sccm N2  0-500sccm Ar   0-500sccm O2   0-500sccm
測溫元件		高精度紅外測溫儀
真空測量		高精度真空計
分子泵		默認無/可選
氫氣純化		9N級
水循環(huán)		3P水冷機