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CVD化學氣相沉積系統 CVD（化學氣相沉積）氣相沉積系統是一種常用的薄膜制備技術，通過在高溫下將氣體反應物質與基底表面反應，形成薄膜
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PECVD氣相沉積 PECVD氣相沉積在超大規模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用
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