輸入電源

AC 220V，單相，50Hz

蒸發(fā)電流

100A

電極電壓

10V

蒸發(fā)源

數(shù)量：2
鎢絲籃×2個(gè)，鎢舟×2個(gè)

蒸發(fā)器擋板

是

樣品架

頂部設(shè)置

直徑： φ65 mm

轉(zhuǎn)速： 0-20 rpm

樣品架和蒸發(fā)源之間的距離可調(diào)

真空室

內(nèi)壁處理：電解拋光

箱體尺寸：?φ180mm×H210mm

腔體材料：304不銹鋼

開啟方式：頂開

溫度測(cè)量

B型熱電偶

顯示屏

7英寸觸摸屏

電流

調(diào)節(jié)觸摸屏設(shè)置，范圍0?100A

真空度

所需真空度可以根據(jù)需要選擇旋片泵或分子泵組。 （附加費(fèi)用）

提取接口

KF25

入口接口

直徑6mm圓孔微調(diào)閥

膜厚監(jiān)測(cè)儀

精度: 0.1?

測(cè)量速度: 100mS-1S 可調(diào)

測(cè)量范圍: 500 000? (鋁)

標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體: 6MHz