小型溫控蒸發鍍膜儀

TN-1700X-SPC-2

1.本設備采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入；
2.樣品臺可以旋轉，鍍膜效果能夠更加均勻；
3.采用鎢絲作為發熱源，*高溫度可達到1700℃，并配有專用的氧化鋁舟裝載樣品（僅1600oC以下使用，若蒸發溫度大于1600oC，樣品應直接放在鎢絲籃中）；
4.并且可將設備轉換到手動調節狀態，內部不安裝熱電偶，直接采用手動調節輸出電流大小，發熱源溫度可達2000oC，可達到對樣品鍍碳等實驗要求。
5.可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應氣體，進行反應蒸發鍍膜。
6.進氣口配有針閥，用于調節進氣流量。

• 供電電壓 AC220V，60Hz
• *大功率 800W
• 樣品臺 直徑φ50mm；可旋轉，轉速5rpm；與蒸發源間距可調，調節范圍60mm-100mm
• 石英腔體 O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 235mm
• *高溫度 1700℃
• 熱電偶 S型熱電偶，工作溫度200℃~1500℃
• 真空計 電子式真空計
• 真空接口 KF16
• 進氣接口 1/4NPS
• 真空泵 雙極旋片真空泵