純凈型勻膠機帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止勻膠過程中的雜質污染廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。

凈化型勻膠機技術參數：

名稱	純凈型勻膠機
特點	帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止勻膠過程中的雜質污染。 設置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。 可設置時間--轉速曲線，程序控制勻膠工藝 7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學無需專業學習
技術參數	勻膠時間：1-99秒  勻膠轉數：0-8000轉/分  凈化效果：100級（美國聯邦標準）  操作區風速：0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態：垂直層流()  適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠  控制范圍和精度：轉速控制范圍為：500-8000轉，精度為±3%  時間控制范圍為：1-99秒，精度為±5%  轉速調整：采用PID調節，精度高。  轉速查看智能化：可自動識別哪個電機開或關，自動轉換到開啟的電機上。可予先選定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。
規格	外形尺寸：650x750x1620mm  外體顏色：亞白色